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镀膜是一种常用的表面处理工艺，一般是在真空环境下，将某种金属或非金属以气相的形式沉积到材料表面，形成一层致密的薄膜，镀膜质量对半导体器件的功能形成至关重要。中慧芯掌握电子束蒸发、磁控溅射、LPCVD、PECVD、原子层沉积等多种镀膜技术。
| 镀膜材料 | ·金属 Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW90、Pd、Zn、Mo、W、Ta 、Nb等 |
| ·非金属 Si、SiO2、SiNx、Al2O3、HFO2、MgF2、ITO、Ta2O5等 | |
| 镀膜基底 | ·硅片、石英玻璃片、蓝宝石片、PET、Pi等 |
| 镀膜技术 | ·电子束蒸发、磁控溅射、LPCVD、PECVD、ALD原子层沉积等 |