MEMS开关是用微机械加工技术集成在普通硅片上的开关。它用在射频到毫米波（0.1到1000GHz）的通讯上。一般分为静电驱动的MEMS开关、电磁驱动的MEMS开关、热驱动MEMS开关、压电体驱动的MEMS开关。瀚宸提供MEMS开关器件加工定制服务。